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发明名称 MEASUREMENT OF IMPURITY DISTRIBUTION IN SEMICONDUCTOR ELEMENTS
摘要
申请公布号 JPS5272568(A) 申请公布日期 1977.06.17
申请号 JP19750148982 申请日期 1975.12.13
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 JINNO KIYOKATSU
分类号 H01L21/66;H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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