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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2654689(A1) 申请公布日期 1977.06.16
申请号 DE19762654689 申请日期 1976.12.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD. 发明人 YONEZAWA,TOSHIO;ISHIDA,HIDEKUNI;HIRAKI,SHUNICHI;KITANE,SHOICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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