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经营范围
发明名称
EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5270497(A)
申请公布日期
1977.06.11
申请号
JP19750146287
申请日期
1975.12.10
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
WASHIMI MASAHIKO
分类号
H01J37/305;H01J37/30;H01L21/027
主分类号
H01J37/305
代理机构
代理人
主权项
地址
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