发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5267962(A) 申请公布日期 1977.06.06
申请号 JP19750144275 申请日期 1975.12.03
申请人 SANYO ELECTRIC CO 发明人 OKAZOE MASARU
分类号 H01L21/306;H01L21/28;H01L21/32 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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