发明名称 FORMATION OF ADJACENT REGION
摘要
申请公布号 JPS5267283(A) 申请公布日期 1977.06.03
申请号 JP19760123447 申请日期 1976.10.16
申请人 KOGYO GIJUTSUIN *JAPAN* 发明人 HAYASHI YUTAKA
分类号 H01L21/265;H01L21/203;H01L29/861;H01L31/10 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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