发明名称 METHOD OF MEASURING RESPONSE CHARACTERISTIC OF DETECTOR IN SCANNING TY PE ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5263059(A) 申请公布日期 1977.05.25
申请号 JP19750138895 申请日期 1975.11.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUKAWA YASUO;GOTOU YOSHIAKI
分类号 H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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