| 发明名称 |
PRODUCTION OF DIELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5258898(A) |
申请公布日期 |
1977.05.14 |
| 申请号 |
JP19750135777 |
申请日期 |
1975.11.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MITSUYU TSUNEO;WASA KIYOTAKA;HAYAKAWA SHIGERU |
| 分类号 |
C04B35/00;C01G29/00;C30B29/22;H01B3/00;H01B3/10;H01L41/18;H03H3/007;H03H3/08;H03H7/30 |
主分类号 |
C04B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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