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发明名称 DEVICE FOR HOUSING WAFER TO WAFER HOLDER
摘要
申请公布号 JPS5258477(A) 申请公布日期 1977.05.13
申请号 JP19750134056 申请日期 1975.11.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUKAHARA MASARU;WATANABE KAZUHIKO;TAKAISHI MASARU
分类号 H01L21/683;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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