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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR ETCHING
摘要
申请公布号
JPS5258476(A)
申请公布日期
1977.05.13
申请号
JP19750134081
申请日期
1975.11.10
申请人
HITACHI LTD
发明人
IWAMATSU SEIICHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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