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发明名称 CATHODIC SPATTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5256084(A) 申请公布日期 1977.05.09
申请号 JP19760111655 申请日期 1976.09.17
申请人 AGENCE NATIONALE DE VALOR DE LA RECH ANVAR;COMMISSARIAT A L*ENERGIE ATOMIQUE 发明人 BERUNAARU BUUSHIE;DANIERU RUUZE;KUROODO SERA
分类号 C23C14/38;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/38
代理机构 代理人
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