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发明名称 METHOD OF ARTWORKING FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5255872(A) 申请公布日期 1977.05.07
申请号 JP19760118453 申请日期 1976.10.01
申请人 YOKOGAWA HIYUURETSUTO PATSUKAADO KK 发明人 DEBITSUTO SUTEIIBUN MEITORANDO
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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