发明名称 IMPURITY DOPING METHOD FOR GALLIUM ARSENIDE VAPOR PHASE GROWN CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS5255377(A) 申请公布日期 1977.05.06
申请号 JP19750130678 申请日期 1975.10.30
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MIZUNO OSAMU
分类号 C30B25/02;C30B29/42;H01L21/205;H01L29/864 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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