发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5254370(A) 申请公布日期 1977.05.02
申请号 JP19750130853 申请日期 1975.10.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SANADA TATSUYUKI
分类号 H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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