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发明名称 VERFAHREN ZUM REGELN DES SAUERSTOFFGEHALTS BEIM ZIEHEN VON SILICIUMKRISTALLEN
摘要
申请公布号 DE2639707(A1) 申请公布日期 1977.04.28
申请号 DE19762639707 申请日期 1976.09.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 JOHN PATRICK,WILLIAM;ALFRED WESTDORF,WOLFGANG
分类号 C01B33/02;C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/18 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
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