发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5245871(A) 申请公布日期 1977.04.11
申请号 JP19750120706 申请日期 1975.10.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITOU TATSU;OOTA MASATAKA;SUGAWARA KATSUO
分类号 H01L21/60;H01L21/28 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址