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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5212152(B1) 申请公布日期 1977.04.05
申请号 JP19700066370 申请日期 1970.07.28
申请人 发明人
分类号 C30B11/06;C01B25/08;C01G1/00;C30B27/00;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/18 主分类号 C30B11/06
代理机构 代理人
主权项
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