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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5212027(B2)
申请公布日期
1977.04.04
申请号
JP19720060153
申请日期
1972.06.15
申请人
发明人
分类号
H03F1/08;H01L21/822;H01L27/04;H03F3/187;H03F3/34;H03F3/347
主分类号
H03F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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