发明名称 COLLECTOR OF CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5240300(A) 申请公布日期 1977.03.29
申请号 JP19750115764 申请日期 1975.09.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANO MASAHIRO;YABUNAKA FUMIHARU;MANABE MASARU
分类号 G21K5/00;G21K1/00 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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