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发明名称 METHOD FOR FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5230168(A) 申请公布日期 1977.03.07
申请号 JP19750106200 申请日期 1975.09.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAIKAI HIROSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/331;H01L29/08 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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