| 发明名称 |
TARGET PATTERN FOR AUTOMATIC ALIGNER |
| 摘要 |
PURPOSE:To improve precision for position adjustment in the automatic allinger and to lessen time necessary for the purpose. |
| 申请公布号 |
JPS5230172(A) |
申请公布日期 |
1977.03.07 |
| 申请号 |
JP19750105915 |
申请日期 |
1975.09.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IKEDA HIROSHI;IIJIMA MASATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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