发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS
摘要 <p>PURPOSE:To use different adhesive to stick a semiconductor wafer to a support and to a mask to perform each separation process individually, thus easing the selection after the separation process.</p>
申请公布号 JPS5227267(A) 申请公布日期 1977.03.01
申请号 JP19750103160 申请日期 1975.08.25
申请人 SHIN NIPPON DENKI KK 发明人 KACHI MASAO;FUKUDA KUNIYOSHI
分类号 H01L21/301;H01L21/302 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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