发明名称 EVAPORATION RATE CONTROLLING APPARATUS
摘要 PURPOSE:In evaporation method by electron beam gun, an evaporation rate controlling system effective for making the rate of evaporation constant by response to ctnrol signal voltage at higher speed than emission current.
申请公布号 JPS5227075(A) 申请公布日期 1977.03.01
申请号 JP19750103005 申请日期 1975.08.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 TARUYA YOSHINOBU;WATANABE TAKEHIKO;KUDOU SANEHIRO
分类号 C23C14/30;C23C14/54 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
地址