| 发明名称 |
ACTIVATION REACTION EVAPORATING APPARATUS |
| 摘要 |
PURPOSE:An activation reaction evaporating apparatus which efficiently performs ionization of metal vapors and electrolytic dissociation of reactive gas. |
| 申请公布号 |
JPS5223579(A) |
申请公布日期 |
1977.02.22 |
| 申请号 |
JP19750099793 |
申请日期 |
1975.08.19 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
KOMIYA MUNEHARU;TSURUOKA KAZUYUKI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/00;C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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