| 发明名称 |
PRODUCTION METHOD OF SEMIICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5217768(A) |
申请公布日期 |
1977.02.09 |
| 申请号 |
JP19750093604 |
申请日期 |
1975.07.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HATAISHI OSAMU;KADOMA YOSHINOBU;FUKUDA TAKESHI;KIRISAKO TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/761;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/761 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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