| 发明名称 |
TREATMENT EQUPMENT FOR ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5214374(A) |
申请公布日期 |
1977.02.03 |
| 申请号 |
JP19750090277 |
申请日期 |
1975.07.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SASAKI TAMOTSU;IKEDA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/265;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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