发明名称 ELECTRON BOMBARDMENT TYPE ION SOURCE WITH PERMANENT MAGNET FOCUSING MEANS THEREIN
摘要
申请公布号 US3502863(A) 申请公布日期 1970.03.24
申请号 USD3502863 申请日期 1967.08.02
申请人 HITACHI SEISAKUSHO:KK. 发明人 HITOSHI TSUYAMA;HIROSHI HIROSE;HIROKAZU KIMURA
分类号 H01J49/10;H01J49/14;(IPC1-7):H01J39/34 主分类号 H01J49/10
代理机构 代理人
主权项
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