| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF OXIDE SUPERCONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03174394(A) |
申请公布日期 |
1991.07.29 |
| 申请号 |
JP19890313671 |
申请日期 |
1989.11.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SUNAI MASAYUKI;TERAJIMA YOSHIAKI;MIURA TADAO |
| 分类号 |
C30B25/18;C01G1/00;C01G3/00;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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