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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Legierungselektrode durch Aufdampfen von Legierungsmaterial
摘要
申请公布号 DE1521304(A1) 申请公布日期 1969.08.07
申请号 DE19641521304 申请日期 1964.07.28
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH 发明人 DIETER HUEFNER,DIPL.-PHYS.
分类号 C23C14/54;H01L21/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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