| 发明名称 |
MACHINE FOR MEASURING GEOMETRICAL PARAMETERS OF A TRANSPARENCY, SUCH AS MASKS FOR INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3614454(A) |
申请公布日期 |
1971.10.19 |
| 申请号 |
USD3614454 |
申请日期 |
1969.05.09 |
| 申请人 |
SOC. GENEVOISE D'INSTRUMENTS DE PHYSIQUE |
发明人 |
MAURICE KOULICOVITCH;JACQUES PETTAVEL;PIERRE WEHRLI |
| 分类号 |
G02B21/00;(IPC1-7):G01N21/30 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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