| 发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR DEPOSITING ON SURFACES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3619402(A) |
申请公布日期 |
1971.11.09 |
| 申请号 |
USD3619402 |
申请日期 |
1968.10.11 |
| 申请人 |
EUROPEAN ATOMIC ENERGY COMMUNITY EURATOM |
发明人 |
JOSEPH WURM;PIERRE BEUCHERIE;MICHEL BLOCK |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/32;C23C14/40;H01J37/34;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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