| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0684835(A) |
申请公布日期 |
1994.03.25 |
| 申请号 |
JP19920234565 |
申请日期 |
1992.09.02 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KUBOTA NAOKI;KINOSHITA OSAMU |
| 分类号 |
C23F4/04;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23F4/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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