| 主权项 |
1.一种串联式三自由度微/奈米定位平台,包括:一或多数个压电致动器,一平台机构,平台机构附有杠杆式机构、支点处的挠性铰链、固定底座、固定孔、施力点处的挠性铰链、Z轴压电致动器固定槽、内层移动台、中层移动台、波浪形挠性平板弹簧、Y轴压电致动器固定槽、外层移动台、X轴压电致动器固定槽以及工作台衔接螺丝孔,在Z、Y以及X轴压电致动器固定槽内置有压电致动器,平台内层移动台与中层移动台藉由波浪形挠性平板弹簧做为连结,中层移动台与外层移动台藉由波浪形挠性平板弹簧做为连结,杠杆式机构支点处的挠性铰链与固定底座连结成为杠杆式机构的支点,在固定底座内有固定孔,固定孔用来将平台固定住,杠杆式机构施力点处的挠性铰链与Z轴压电致动器固定槽连结成为杠杆式机构的施力点,在Z轴压电致动器固定槽内置有压电致动器,当压电致动器施以电压时,会以支点处的挠性铰链中心处为旋转中心,带动内层移动台、中层移动台与外层移动台作旋转的动作,内层移动台与中层移动台之间有一Y轴压电致动器固定槽,在Y轴压电致动器固定槽内置有压电致动器,当压电致动器施以电压时,中层移动台与外层移动台会朝Y轴向作动,中层移动台与外层移动台之间有一X轴压电致动器固定槽,在X轴压电致动器固定槽内置有压电致动器,当压电致动器施以电压时,外层移动台朝X轴向作动;一工作台,工作台附有的工作台沉头固定孔,工作台与平台机构上方连结,利用平台机构中的工作台衔接螺丝孔与工作台附有的工作台沉头固定孔作为连接;一固定基座,固定基座附有基座螺丝孔与基座沉头固定孔,固定基座与平台机构下方连结,以固定基座中的基座螺丝孔与平台机构中的固定孔连结,固定基座中的基座沉头固定孔用来连接防震桌或其他装置;一或多数个垫片,在平台机构中的工作台衔接螺丝孔与工作台中的工作台沉头固定孔之间放置垫片,以及在平台机构中的固定孔与固定基座中的基座螺丝孔之间放置垫片。2.如申请专利范围第1项之一种串联式三自由度微/奈米定位平台,其中压电致动器可用磁致伸缩材料以及可提供数百微米行程的光、电、热能驱动器来取代。3.如申请专利范围第1项之一种串联式三自由度微/奈米定位平台,其中支点处的挠性铰链半径及其厚度可为任意。4.如申请专利范围第1项之一种串联式三自由度微/奈米定位平台,其中波浪形挠性平板弹簧半径及其厚度可为任意。图式简单说明:第一图系为本创作之平台机构示意图第二图系为本创作之组合示意图第三图系为本创作之立体分解图第四图系为本创作之Z轴作动模拟图第五图系为本创作之Y轴作动模拟图第六图系为本创作之X轴作动模拟图第七图系为已知技术之单层三自由度微定位平台示意图第八图系为已知技术之平面式三自由度微奈米定位平台示意图 |
