MAGNETORESISTIVE DEVICE FOR MEASURING MAGNETIC FIELD VARIATIONS AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

摘要

Le dispositif sensible magnétorésistif sert à mesurer des variations d'une composante de champ magnétique se trouvant dans le plan de bandelettes magnétostrictives de mesure et formant un angle avec la direction du courant dans ces bandelettes. Le dispositif sensible (10) est constitué par un circuit d'entrée et un circuit de sortie qui sont incorporés sous forme de circuit intégré (19) dans une région d'une plaquette semi-conductrice (18). Sur la plaquette semi-conductrice (18) se trouvent aussi les bandelettes magnétorésistives (11a) qui y sont reportées par dépôt en couche mince. Les bandelettes sont mises en contact par des conducteurs à travers des connexions (21) avec le circuit intégré (19). Ces conducteurs sont également reportés par dépôt en couche mince.