溅镀装置

摘要

以不受其设置场所及交流电源之设置场所之距离的影响，可以良好精度开启电力之方式来构成使用交流电源之溅镀装置。于真空腔室11内，配设着：1对标靶41a、41b；及对该1对标靶以特定频率交互变换极性来施加电压之交流电源E。交流电源E之构成上，区分成：可供应电力之电力供应部6；及具有连结于来自该电力供应部之电力线之振荡用开关电路72之振荡部7；且，以汇流条8连结该振荡部及各标靶。