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发明名称 ANTIMONY PENTACHLORIDE DIFFUSION
摘要
申请公布号 US3532565(A) 申请公布日期 1970.10.06
申请号 USD3532565 申请日期 1967.12.07
申请人 UNITED AIRCRAFT CORP. 发明人 ROBERT C. COOK
分类号 C30B31/08;C30B31/16;H01L21/00;(IPC1-7):H01L7/36;H01L7/44 主分类号 C30B31/08
代理机构 代理人
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