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发明名称 Verdampfer fuer Gettermetalle
摘要
申请公布号 DE2041133(A1) 申请公布日期 1972.02.24
申请号 DE19702041133 申请日期 1970.08.19
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH & CO KG 发明人 HENNING,HEINRICH,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 C23C14/30;H01J7/18 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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