| 摘要 |
<p>Ellipsomètre spectroscopique comportant un dispositif d'éclairement présentant un point focal d'éclairement (F'2) d'une surface d'un échantillon (E) selon un angle d'incidence donné, et un dispositif d'analyse de la lumière réfléchie par la surface de l'échantillon. Le porte-échantillon comporte trois platines de translation (20,30,40), selon trois directions respectivement (T2, T3, T1). Les translations selon les premières (T1) et deuxième (T2) directions permettent de réaliser des cartographies de l'échantillon (E), alors que la translation selon la troisième direction (T3) permet de placer un point de la surface de l'échantillon (E) en coïncidence avec le point focal (F'2). Deux platines tournantes (PT2, 12) autour d'axes respectivement ϑ1 et ϑ2 parallèles aux première (T1) et deuxième (T2) directions et se coupant audit point focal (F'2) permettent d'orienter l'échantillon (E) par rotation dans deux plans orthogonaux autour dudit point focal (F'2). Application à l'ellipsomètre résolue spatialement.</p> |
