| 发明名称 |
HIGH PURITY DIELECTRIC MEMBRANE FORMING AGENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10144142(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19960293883 |
申请日期 |
1996.11.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
MATSUURA MASAYA;KAGEYAMA KENSUKE;ATSUGI TSUTOMU;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C30B29/22;H01B3/12;H01L21/316;(IPC1-7):H01B3/12 |
主分类号 |
C30B29/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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