| 发明名称 |
METHOD FOR REGULATING STATE OF ORGANIC MASK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6230890(A) |
申请公布日期 |
1987.02.09 |
| 申请号 |
JP19860116014 |
申请日期 |
1986.05.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
SHIMON UUN TAMU;RONARUDO POORU RIIDO;JIERII YUEN KUI UON;DEIBUITSUDO NIN KOU WAN |
| 分类号 |
C30B33/12;C23F1/00;C23F4/00;C30B33/00;G03F7/40;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311 |
主分类号 |
C30B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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