发明名称 GAS SENSOR MADE OF PLASMA-POLYMERIZED THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02293656(A) 申请公布日期 1990.12.04
申请号 JP19890115560 申请日期 1989.05.09
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 INAGAKI KUNIHIRO
分类号 G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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