| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET FOR FORMING SOFT MAGNETIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08218164(A) |
申请公布日期 |
1996.08.27 |
| 申请号 |
JP19950023673 |
申请日期 |
1995.02.13 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAKAI AKIRA;ISHIGAMI TAKASHI;TOMITA HIROSHI;MIZOGUCHI TETSUHIKO |
| 分类号 |
C23C14/14;C22C19/07;C22C38/00;C22C38/10;C23C14/34;H01F10/12;H01F10/13;H01F41/18;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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