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发明名称 VACUUM CHUCK
摘要
申请公布号 JPH04159043(A) 申请公布日期 1992.06.02
申请号 JP19900284257 申请日期 1990.10.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUGANO MAKOTO;OOTAKE IKUMORI;KANEKO YOSHIO
分类号 B23Q3/08 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
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