| 发明名称 |
METHODS AND APPARATUS FOR PHOTO-OPTICAL MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRODUCTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3610750(A) |
申请公布日期 |
1971.10.05 |
| 申请号 |
USD3610750 |
申请日期 |
1968.11.25 |
| 申请人 |
TELEDYNE INC. |
发明人 |
ROBERT E. LEWIS;MELVIN D. WRIGHT;PHILIP E. CHANDLER |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/00;(IPC1-7):G03B27/70 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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