| 发明名称 |
MULTI-CATHODE METAL VAPOR ARC ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU604856(B2) |
申请公布日期 |
1991.01.03 |
| 申请号 |
AU19880012779 |
申请日期 |
1988.03.08 |
| 申请人 |
IAN GORDON BROWN |
发明人 |
IAN GORDON BROWN;ROBERT ALLAN MACGILL |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/30;(IPC1-7):H01J27/14 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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