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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09260368(A) 申请公布日期 1997.10.03
申请号 JP19960068328 申请日期 1996.03.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOMITA KENICHI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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