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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING APPEARANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0798216(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930294000 申请日期 1993.10.29
申请人 SONY CORP 发明人 TOMITANI HIROSHI
分类号 G01B11/24;G01B11/255;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/956;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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