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发明名称 INTERFEROMETER OPTICAL ELEMENT ALIGNMENT
摘要
申请公布号 EP1543292(A1) 申请公布日期 2005.06.22
申请号 EP20030792507 申请日期 2003.08.21
申请人 ACIMETRICS LIMITED 发明人 WELLSTEAD, PETER, ERIC;EDMUNDS, JOHN, MEIRION
分类号 G01B9/02;G01B11/27;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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