基板处理装置的检查方法及收容为执行方法之检查程式的记忆媒体

摘要

一种可删减操作员之工作数之基板处理装置的检查方法。在基板处理装置之清扫时期，使主电脑对基板处理装置，指示往该基板处理装置之制品用晶圆的搬入禁止；然后基板处理装置对主电脑，通知用于特定检查项目之检查用晶圆的种类及片数；然后主电脑对基板处理装置，通知检查用晶圆的准备完成。