发明名称 INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION
摘要
申请公布号 US3620833(A) 申请公布日期 1971.11.16
申请号 USD3620833 申请日期 1966.12.23
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 PAUL S. GLEIM;KENNETH E. BEAN
分类号 H01L21/00;H01L21/762;(IPC1-7):C23C13/04;H01L1/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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