| 发明名称 |
SUBSTRATE FOR FORMING ORIENTED THIN FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0797296(A) |
申请公布日期 |
1995.04.11 |
| 申请号 |
JP19930239704 |
申请日期 |
1993.09.27 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUJII SATORU;TAKAYAMA RYOICHI;FUJII AKIYUKI;TOMOSAWA ATSUSHI |
| 分类号 |
C30B25/18;C23C14/34;C30B29/16;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):C30B29/16;H01L21/824 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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